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MO源是生产超薄型膜化合物半导体材
来源:校办产业管理中心    2006-3-29 11:54:56    

 

MO源是生产超薄型膜化合物半导体材


        MO源是生产超薄型膜化合物半导体材料MOCVD技术的关键材料,它是高纯金属有机化合物。目前南京大学已开发出20种NO源,其中国际上最常用的有三甲基镓(TMGa)、三乙基镓(TEGa)、三甲基铟(TMIn)、三乙基铟(TEIn)、乙基二甲基铟(EDMIn)、三甲基 铝(TMAI)、三甲基锑(TMSb)、叔叔丁基膦(TBP)、叔丁基胂(TBAa)二甲基镉(TMCd)、二乙基碲(DETe)、二异丙基碲(DIPTe)、二乙基锌(DEZn)等十余种,纯度已达99.999%-99.9999%,经国内外使用,达到或接近国际商用先进水平。上述的十余种MO源已有12种通过国家鉴定或863专家委员会的验收。目前南大的MO源除供应国内市场外,已开始批量出口,现在国内外需求迅速增长,MO源产业化迫在眉急。

 
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